近年、産業用ロボット分野において、高速、高剛性、高精度化のニーズが高まっています。
そこでCFRPの持つ軽量、高剛性、静振性を活かした部品が多く採用されています。 一部ではありますが、当社で製作した実績を含めご紹介します。

液晶ガラス基板搬送アーム

【特徴】

  • 成膜、レジスト塗布、露光、アニールなど各処理装置間においてガラス基板を高速、高精度で搬送する事ができます。
  • タワミ量が軽減され、カセットへの干渉を防ぎます。
  • 搬送動作中のハンドが停止したときの振動が収束するまでの時間を短縮。
    結果、タクトタイムの短縮を実現します。
  • 10世代の大型ガラス基板用も製作可能です。
  • 250℃の高温環境にも対応可能です。
  • 低アウトガス仕様により、真空環境化でも使用可能です。



シリコンウエハ搬送アーム

【特徴】

  • タワミ量が軽減され、カセットへの干渉を防ぎます。
  • 搬送動作中のハンドが停止したときの振動が収束するまでの時間を短縮。
    結果、タクトタイムの短縮を実現します。
  • 300mm~450mmにも対応可能です。
  • 低アウトガス仕様により、真空環境化でも使用可能です。



パラレルリンク/ロボットアーム

【特徴】

  • 高剛性でありながら、高速動作が可能です。
  • オーバーシュートや振動が少ない為、信頼性の高い搬送を実現します。
  • 優れた振動減衰性により、アーム先端の振動時間を抑え、位置精度の向上を実現します。
  • 高強度、高剛性により可搬重量が増えます。



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